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关税冲击半导体产业,这一细分领域可能影响最大

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在美国政府掀起的新一轮关税战下,中美双方都宣布对原产于两国的进口商品加征关税至125%。

目前行业内讨论最多的还是芯片等终端产品。但芯片的生产离不开上游设备和材料的支撑。半导体材料是半导体行业的基石,细分种类众多,贯穿半导体生产的前道晶圆制造与后道封装测试全流程。

在晶圆制造环节,硅片、电子特气、光掩膜版、抛光材料等用量可观;封装测试阶段,封装基板等则是关键材料。然而,当前我国半导体材料国产化率偏低,CMP 抛光材料、光刻胶和电子气体等领域更是短板,国产化率不足 30%,成为制约我国半导体产业发展的瓶颈。随着国内半导体产业在全球版图中占比逐步提升,产能加速向国内转移,半导体材料在供应链中的地位愈发关键。而关税战的爆发,极有可能导致进口材料价格飙升,成本压力沿着供应链传导至下游代工厂,给整个行业带来沉重负担。

那么哪些材料会受影响呢?

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光刻胶是光刻工艺的核心材料,技术壁垒主要体现在原材料端(我国高端树脂的国产化量产供应量严重不足)和制造端。中国晶圆厂建设步伐加快,芯片制程不断提升,推动半导体光刻胶市场空间迅速扩张。全球半导体制程正向更先进、更精细化的方向发展,带动半导体制造对光刻胶的需求增长。

光刻胶借助光化学反应,经曝光、显影、刻蚀等工序,将掩模板上的精细图形精准转移至待加工基片。依据应用领域不同,光刻胶分为 PCB 光刻胶、LCD 光刻胶及半导体光刻胶,其中半导体光刻胶技术门槛最高。按照曝光波长差异,半导体光刻胶又细分为 G 线、I 线、KrF、ArF 及 EUV 等类型,曝光波长越短,加工分辨率越高,能够实现更小尺寸和更精细的图案制作,目前最先进的光刻胶已进入极紫外光(EUV)时代。

在原材料方面,光刻胶的原材料包括树脂、光酸、添加剂及溶剂,我国原材料自给率普遍较低,尤其是占成本近50% 的树脂原材料,高端树脂国产化量产供应严重不足。制造端,光刻胶配方复杂,难以逆向推导,验证周期漫长,需要与客户密切协作,且高端光刻机设备购置和维护成本高昂,对企业资金和技术实力要求很高。

当前,我国光刻胶生产能力主要集中于PCB光刻胶等中低端产品,高端半导体光刻胶市场被美日企业所垄断。资料显示,美国杜邦公司光刻胶市场占有率位列中国第二。(其他多为日本企业,如东京应化、住友化学、富士胶片等)

02CMP 抛光材料

CMP是一种将化学腐蚀与机械研磨相结合的半导体表面平坦化工艺,在集成电路晶圆制造过程中扮演着实现晶圆全局均匀平坦化的角色。在晶圆制造的各个阶段,为确保晶圆表面的完全平坦,均需进行平坦化处理。随着超大规模集成电路制造线宽的持续细化,对平坦化的要求日益提高,CMP在先进工艺制程中的重要性愈发凸显且不可替代。在化学机械抛光环节中,CMP抛光垫与抛光液作为核心耗材,其中抛光液的材料成本占比最高。根据SEMI提供的数据,全球CMP材料成本中,抛光液的使用量最大,占比达到49%,抛光垫占比33%,二者合计占比高达82%,而钻石碟占比9%,清洗液占比则为5%。

市场上排名前五的厂商分别是Cabot Microelectronics、德国Merck (Versum Materials)、日立、富士美和美国陶氏,它们合计占据了超过80%的市场份额。然而,值得注意的是,抛光液市场格局正呈现出分散化的趋势,为国产厂商提供了更大的替代机会。作为全球抛光液市场的领军企业,美国的Cabot Microelectronics在2000年时曾占据了高达80%的市场份额。至2017年其全球市占率已降低至36%。这一变化表明,抛光液市场的分散程度相对较高,且多元化发展的趋势日益明显,为国产厂商实现市场替代提供了较大的空间。但目前仍可能受到关税影响。

而抛光垫该市场主要由陶氏化学(注:杜邦与陶氏化学于2017年完成合并,成立陶氏杜邦公司,后来又分拆为了杜邦、陶氏化学和农业公司科迪华三家公司)所主导,其占据了全球79%的市场份额;而美日五家主要厂商合计占据了91%的市场份额。

CMP抛光垫为例,杜邦在全球范围内占据了约60%的市场份额,在中国市场这一比例甚至更高。

以往,我国国内CMP抛光垫的使用几乎完全依赖于进口。目前国内已有一小部分厂商也可以生产抛光垫了。

03电子特气

电子特种气体又称电子特气,相较于传统工业气体,纯度更高,其中一些具有特殊用途。电子特气下游应用广泛,是集成电路、显示面板、太阳能电池等行业不可或缺的支撑性材料。在半导体领域,电子特气的纯度直接影响IC芯片的集成度、性能和良品率,在清洗、气相沉积成膜(CVD)、光刻、刻蚀、离子注入等半导体工艺环节中都扮演着重要的角色。因其对纯度和杂质含量的严苛要求,具有较高的经济价值,占据了晶圆制造成本的13%。

与一般工业气体相较,电子特气对纯度、质量的稳定性和一致性以及包装容器等方面的要求都更为严苛,因此其技术难度相对较高。电子特气行业的核心竞争力主要包括精良的提纯技术、独特的混合配方以及多品类的供应潜能。

电子特气多达数百种,主要应用于光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等关键环节。其中,又主要包括清洗气体如三氟化氮,以及金属气相沉积气体如六氟化钨等。

但目前全球电子特气市场被美德法日垄断,合计占据约90%以上的市场份额,我国进口依赖较高,特别是超高纯特气更是几乎全部依赖进口。美国空气化工在中国电子特气行业中占据领先地位,前几家国际厂商占据较大市场份额,而其他厂商共同占据一定份额。

我国电子特气龙头企业华特气体在2024年报中表示,在中国电子特种气体市场中,88%的市场份额为外资所垄断。截至2024年,海外气体巨头依然占据国内特气市场的主导地位,公司在国内的市场份额占比不到5%。

不过,以华特气体为代表的国内气体公司不断发展,目前华特气体已实现了55个产品的进口替代,超过20个产品供应到14nm、7nm等先进制程产线,部分产品氟碳产品、氢化物产品更是进入5nm工艺。其还是国内唯一通过ASML公司、GIGAPHON认证的气体公司,在光刻气产品方面具有较强的技术优势。

04高纯石英

作为世界稀缺、我国高度依赖进口的战略性资源,高纯石英矿具有耐高温、耐腐蚀、低热膨胀性、高绝缘性和透光性这些特点,是半导体、光伏等战略性新兴产业必不可缺少的关键基础材料,在国家高科技竞争中起到至关重要的作用。

目前我国高纯石英高端产品、甚至中高端产品,主要依赖产品和矿石进口,仍然处于被处处掣肘的状态。作为芯片等关键领域的卡脖子材料,近年来我国一直在强化高纯石英资源的勘查评价体系。

这种石英用于制造坩埚,坩埚中盛放熔融的硅,然后将其制成硅锭,再将硅锭切割成晶片并制成芯片。石英需要非常纯净,以防止杂质渗入硅中,而Spruce Pine正是这种非常纯净的石英的产地。

石英坩埚对于大多数半导体制造来说确实是必需的,而Spruce Pine 是这种石英的大部分产地。Spruce Pine 石英并不是半导体制造中不可替代的关键。但替代品都是尚未开发、质量不太好、价格不太便宜的组合。切断 Spruce Pine 石英的供应可能不会完全切断半导体的供应,但这意味着产量下降,成本上升。

其实该行业也意识到了瓶颈,且正在开发新的石英来源,并正在研究新的坩埚材料。如果找到一种新的坩埚材料,将产生特别大的影响:不仅因为它可以消除Spruce Pine 瓶颈,还因为石英是硅锭制造的主要限制因素,而一种新的、更好的材料可能会大幅提高生产效率。

近日,自然资源部发布了《新发现矿种公告》,其中确定了一个新矿种——高纯石英矿。它的出现,将改变此前高度依赖进口的局面,助力相关战略性新兴产业的高质量发展。自然资源部表示,本次设立确定的新矿种叫高纯石英矿,是指经选矿、提纯可获得二氧化硅的纯度不低于99.995%,杂质、包裹体含量满足半导体、光伏等高新领域应用要求的岩石。近年来,我国通过推进新一轮找矿突破战略行动,在河南东秦岭、新疆阿勒泰等地区,发现了多处高纯石英矿,全国多家企业和科研单位分别开展了技术攻关,成功获得了4N5级以上中试产品,一些样品达到4N8级,在高纯石英矿调查评价、资源勘查、深度提纯、定向除杂等方面取得了重要突破,在推进本土资源生产高纯石英砂的产业化上,迈出了关键一步。

目前来看,半导体材料领域我国还存在诸多掣肘。各种芯片产品,关税以流片地为原产地,在此情况下,大部分芯片并不被认定为美国产品,实际影响很小。但半导体材料不同,我国对进口依赖度高,美国企业占比较大,容易受到进口关税影响。

但另一方面,这些材料大部分有日本、中国等国家的产品替代,即使受到冲击和面临困难也只是暂时的。

       原文标题 : 关税冲击半导体产业,这一细分领域可能影响最大

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